Координатный стол Z P-58 series

наклонапьезоэлектрический1 ось

Высокая динамика с большой апертурой - Параллельная кинематика для ускорения времени отклика и повышения точности по нескольким осям - Высокоточная система направляющих изгиба с нулевым люфтом - Выдающийся срок службы благодаря пьезоприводам PICMA® - Чистая апертура 66 мм × 66 мм - Высочайшая линейность благодаря емкостным датчикам - Метрология - Интерферометрия - Фотоника / интегральная оптика - Литография - Нанопозиционирование - Сканирующая микроскопия - Выравнивание образцов - Микрообработка Субнанометровое разрешение с емкостными датчиками Емкостные датчики измеряют с субнанометровым разрешением без контакта. Они гарантируют превосходную линейность перемещения, долговременную стабильность и полосу пропускания в диапазоне кГц. Автоматическая конфигурация и быстрая замена компонентов Механизмы и контроллеры можно комбинировать по мере необходимости и быстро заменять. Все параметры сервопривода и линеаризации хранятся в ID-чипе разъема D-sub механики. Функция автокалибровки цифровых контроллеров использует эти данные при каждом включении контроллера. Выдающийся срок службы благодаря пьезоактуаторам PICMA® Запатентованные пьезоприводы PICMA® имеют цельнокерамическую изоляцию. Это защищает их от влаги и разрушения в результате увеличения тока утечки. Срок службы приводов PICMA® в десять раз больше, чем у обычных приводов с полимерной изоляцией. доказано 100 миллиардов циклов без единого отказа.