Линейный координатный стол Q-545 Q-Motion® series

пьезоэлектрический1 осьсверхточный

- Ширина всего 45 мм - Усилие привода 7 Н - Инкрементальные датчики с нанометровым разрешением положения - Комбинации XY Пьезоинерционные приводы - это компактные и доступные по цене приводы на основе пьезоэлектрических элементов с относительно высоким усилием удержания и практически неограниченным диапазоном перемещения. Принцип инерционного привода основан на одном пьезоэлектрическом актуаторе, который управляется с помощью модифицированного пилообразного напряжения, обеспечиваемого специальной электроникой драйвера. Привод медленно расширяется и перемещает бегунок. Из-за своей инерции бегунок не может следовать за последующим быстрым сокращением привода и остается на месте. При рабочей частоте до 20 кГц приводы воздействуют непосредственно на бегунок и достигают скорости макс. 6 мм/с. Области применения Микросборка. Фотоника. Оптическое выравнивание. Микроскопия. Приборы для лучевых линий. Полупроводниковая технология. Тестирование. Принцип прямого измерения Линейные ступени оснащены бесконтактным измерительным оптическим линейным энкодером и эталонным переключателем. Разрешение 1 нм.