- Ширина всего 45 мм
- Усилие привода 7 Н
- Инкрементальные датчики с нанометровым разрешением положения
- Комбинации XY
Пьезоинерционные приводы - это компактные и доступные по цене приводы на основе пьезоэлектрических элементов с относительно высоким усилием удержания и практически неограниченным диапазоном перемещения. Принцип инерционного привода основан на одном пьезоэлектрическом актуаторе, который управляется с помощью модифицированного пилообразного напряжения, обеспечиваемого специальной электроникой драйвера. Привод медленно расширяется и перемещает бегунок. Из-за своей инерции бегунок не может следовать за последующим быстрым сокращением привода и остается на месте. При рабочей частоте до 20 кГц приводы воздействуют непосредственно на бегунок и достигают скорости макс. 6 мм/с.
Области применения
Микросборка. Фотоника. Оптическое выравнивание. Микроскопия. Приборы для лучевых линий. Полупроводниковая технология. Тестирование.
Принцип прямого измерения
Линейные ступени оснащены бесконтактным измерительным оптическим линейным энкодером и эталонным переключателем. Разрешение 1 нм.
---