Линейный координатный стол Q-545 Q‑Motion® series

пьезоэлектрический1 осьсверхточный

- Ширина всего 45 мм - Сила привода 7 Н - Инкрементальные датчики с нанометровым разрешением позиции - Возможны комбинации XY без переходной пластины Пьезоэлектрический инерционный привод Пьезоинерционные приводы - это компактные и доступные по цене приводы на основе пьезоэлектрических элементов с относительно высокой силой удержания и практически неограниченным диапазоном перемещения. Принцип работы инерционного привода основан на одном пьезоэлектрическом приводе, который управляется модифицированным пилообразным напряжением, обеспечиваемым специальной электроникой привода. Привод медленно расширяется и перемещает бегунок. Благодаря своей инерции бегунок не может следовать за последующим быстрым сжатием привода и остается на месте. При рабочей частоте до 20 кГц приводы воздействуют непосредственно на бегунок и достигают скорости макс. 8 мм/с. Принцип прямого измерения Линейные ступени оснащены бесконтактным измерительным оптическим линейным энкодером и эталонным переключателем. разрешение 1 нм. Области применения Микросборка. Фотоника. Оптическое выравнивание. Микроскопия. Приборы для лучевой линии. Полупроводниковая технология. Тестирование.