Система Vertex обеспечивает контроль процесса измерения PL, так что эпитаксиальный процесс остается под постоянным контролем.
Обзор продукции
Система Vertex, являющаяся последним дополнением к стандартному в отрасли семейству оборотов в минуту, имеет великолепную концепцию и доводит ее до совершенства. Используя новый встроенный профилировщик луча, система Vertex контролирует плотность мощности, постоянно отслеживая как мощность лазера, так и размеры фокального пятна. Это позволяет пользователю регулировать плотность мощности до фиксированного значения, устраняя все источники вариаций между инструментами, что обеспечивает хорошее соответствие инструмента в производственной среде. Кроме того, контроль плотности мощности помогает системе Vertex обеспечивать высокоточные и воспроизводимые измерения данных.
---