Плазменная машина для обработки поверхностей MARCH SPHERE™

для пластинавтоматическаядля полупроводниковых пластин

Обзор
Серия MARCH SPHERE™ представляет собой семейство систем плазменной обработки поверхностей, спроектированных для обеспечения равномерности, воспроизводимости и высокого пропускного потенциала в процессах wafer‑level packaging (WLP) и panel‑level packaging (PLP). На базе патентованной трёхосной симметричной плазменной камеры и продвинутого управления процессом системы SPHERE обеспечивают стабильную активацию поверхности, удаление загрязнений и стабильность процесса для повышения выхода годной продукции и улучшения адгезии на последующих этапах.

MARCH ExoSPHERE
ExoSPHERE оптимизирован для обработки на уровне панелей и для крупноформатных подложек. Симметричная архитектура камеры обеспечивает равномерную активацию и очистку больших поверхностей, снижая вероятность пустот при underfill и улучшая адгезивные свойства. Платформа поддерживает различные форматы продукции и интегрируется в автоматизированные линии или работает автономно. Управление плазмой SMARTTune™ обеспечивает быструю подготовку и стабильную работу с минимальными простоями.

• Подходит для: обработки на уровне панелей (PLP)
• Применения: подготовка под underfill, активация поверхностей, удаление загрязнений
• Поддерживаемые форматы: панели, вэйферы, носители, полосы, лодочки JEDEC/Auer® и т.д.

MARCH StratoSPHERE
StratoSPHERE ориентирован на производство на уровне вэйферов и поддерживает вэйферы диаметром до 300 мм. Симметрия камеры и ограничение плазмы обеспечивают высокую равномерность и воспроизводимость на вэйферах. Система обладает модульной конфигурацией, современным оборудованием для обращения с вэйферами и быстрой переналадкой для эффективной работы в условиях высокого объёма производства.

• Подходит для: обработки на уровне вэйфера (WLP)
• Применения: очистка вэйферов, descum/strip фоторезиста, подготовка поверхности, диэлектрическое паттернирование
• Поддерживаемый размер вэйфера: до 300 мм (12")

Ключевые возможности и преимущества

• Патентованная трёхосная симметричная плазменная камера для равномерной обработки и воспроизводимости
• Высокий уровень управления процессом и SMARTTune™ для быстрой настройки и стабильной работы
• Модульная, промышленная автоматизация и гибкая интеграция в производственные линии
• Короткие циклы и высокий пропускной потенциал для повышения выхода и снижения вариативности
• Широкая совместимость с подложками: панели, вэйферы, носители, полосы, лодочки JEDEC/Auer®
• Применения: активация поверхности, улучшение адгезии, удаление загрязнений, подготовка под underfill, descum/strip фоторезиста, диэлектрическое паттернирование

Технические характеристики

• Серия: MARCH SPHERE™
• Конструкция камеры: патентованная трёхосная симметричная плазменная камера
• Управление процессом: SMARTTune™ плазменное управление
• Поддерживаемые форматы: панели, вэйферы, носители, полосы, лодочки JEDEC/Auer®
• Поддержка вэйферов: до 300 мм (12") (StratoSPHERE)
• Конфигурации: модульные и масштабируемые для производства WLP и PLP
• Основные применения: активация поверхности, удаление загрязнений, улучшение адгезии, подготовка под underfill, descum/strip фоторезиста, диэлектрическое паттернирование