Клейкая мобильная станция распределения Vantage® XL

фиксированная

Обзор
Серия ASYMTEK Vantage® Series — это платформа для прецизионного дозирования жидкостей, разработанная для передовой упаковки полупроводников на уровне wafer, субстрата и панелей. Платформа сочетает высокоскоростной джеттинг, автоматическую калибровку и замкнутые контуры управления для повторяемого дозирования на миниатюрных компонентах и в условиях высокопроизводительного производства.

Функции и преимущества

• Дозирование в зазоры die-to-die < 200 μm и избегание keep-out зон < 250 μm
• Высокая производительность: один IntelliJet до 49,000 DPH; два IntelliJet до 90,000 DPH
• Автоматическая калибровка и запатентованная коррекция в реальном времени для стабильного влажного дозирования
• Конфокальное и бесконтактное лазерное определение высоты для отражающих и прозрачных подложек
• Замкнутые контуры, инспекция после дозирования и полная трассируемость
• Готовность к Industry 4.0: ASYMTEK NE Connect API и Canvas® SDK

Vantage (стандарт)
Гибкая платформа точного дозирования, оптимизированная для упаковки на уровне wafer и субстрата, где требуются точность, гибкость процесса и высокая производительность.

Особенности Vantage

• Поддержка wafer 200 mm и 300 mm, панели 310 × 310 mm
• Производительность одного IntelliJet до 49,000 DPH; двух — до 90,000 DPH
• Графическое программирование Canvas® для быстрой настройки и моделирования

Vantage XL
Сконфигурирован для упаковки панелей большого формата, где размер панели, тепловое управление и плоскостность критичны для выхода годных изделий.

Особенности Vantage XL

• Обработка панелей до 510 × 515 mm (дополнительные размеры с заказными оснастками)
• Интегрированное термоуправление для минимизации деформаций и оптимизации потока underfill
• Высокоскоростной джеттинг с двойными IntelliJet и коррекцией в реальном времени

Программное обеспечение — Canvas®
Canvas® обеспечивает графическое программирование, пошаговые мастера, панели быстрых данных и офлайн-программирование для снижения простоев производства.

• Сканирование и моделирование дозирования на виртуальном холсте
• Пошаговые мастера настройки и офлайн-программирование
• Быстрый доступ к датчикам, управлению процессом и историческим данным

Поддерживаемые клапаны и технологии

• IntelliJet® jetting, NexJet NJ-8
• DispenseJet серия DJ (DJ-2100, DJ-2200, DJ-9500)
• Клапаны серии DV (DV-01, DV-05A, DV-07, DV-09) и насосы Heli-Flow (DV-7000, DV-8000C)

Опции процесса и интеграции

• Calibrated Process Jetting (CPJ)
• Continuous path motion control и Fids-on-the-Fly для автоматического распознавания меток
• Пакеты высокого разрешения для машинного зрения и бесконтактные датчики высоты

Применение

• Дозирование на уровне wafer и субстрата
• Панельное упаковочное производство и крупноформатная передовая упаковка
• Underfill, bonding, sealing и дозирование клеев/жидкостей для полупроводниковой упаковки

Соответствие / патенты
Запатентованные и патентующиеся технологии коррекции дозирования в реальном времени (пример: US патенты 9,707,584; 10,150,131; 10,737,286).

Технические характеристики

• Название серии: ASYMTEK Vantage® Series
• Минимальное расстояние die-to-die: < 200 μm
• Избегание keep-out зон: < 250 μm
• Производительность single IntelliJet: до 49,000 DPH
• Производительность dual IntelliJet: до 90,000 DPH
• Поддержка панелей (Vantage): 310 × 310 mm; (Vantage XL): до 510 × 515 mm
• Датчики высоты: конфокальные и бесконтактные лазерные
• ПО: Canvas® (графическое и офлайн программирование, мастера)
• Управление процессом: замкнутые контуры, инспекция после дозирования, полная трассируемость