Прибор для контроля 3D Proforma 300SA series
для поверхностидля полупроводниковой пластиныдля полупроводника

прибор для контроля 3D
прибор для контроля 3D
Добавить в папку «Избранное»
Добавить к сравнению
 

Характеристики

Технология
3D
Применение
для поверхности, для полупроводниковой пластины, для полупроводника
Сектор
для электронной промышленности
Другие характеристики
для измерений, автоматизированный, полуавтоматический

Описание

Полное сканирование поверхности пластины на предмет толщины, изменения толщины, перекоса, искривления, сори, площадки и глобальной плоскостности Измеряет толщину, TTV, изгиб, искривление, площадку и глобальную плоскостность. Особенности Эксклюзивные емкостные датчики MTI для исключительной точности и повторяемости Полный диапазон измерения толщины 1000 мкм без повторной калибровки Измеряет толщину, TTV, перегиб, искривление, а также плоскостность участка и глобальную плоскостность Пользовательский интерфейс Windows® Стандартные измерения ASTM Конструкция, соответствующая требованиям SEMI S2-0200 по охране труда и технике безопасности SEMI S8-0999 эргономичный дизайн Измеряет все материалы, включая Si, GaAs, Ge, InP, SiC *** *** при условии, что объемное удельное сопротивление составляет менее 20 К Ом/см О полуавтоматической метрологической системе Proforma 300iSA - это настольная/настольная полуавтоматизированная система измерения полупроводниковых и полуизоляционных материалов. Основанная на эксклюзивной технологии Push-Pull capacitance компании MTII, система Proforma 300iSA обеспечивает полное сканирование поверхности пластины на предмет толщины, изменения толщины, перегиба, искривления, сори, площадки и глобальной плоскостности. Определяемые пользователем и соответствующие стандартам ASTM/SEMI шаблоны сканирования используются для создания полных трехмерных (3D) изображений пластин. Для просмотра табличных данных по каждой измеренной пластине с быстрым и простым экспортом в программу электронных таблиц доступны индивидуальные отчеты о данных. Технические характеристики пластин Диаметр: 150 мм, 200 мм, 300 мм Материал: Все полупроводниковые и полуизолирующие пластины, включая Si, GaAs, Ge, SiC, InP Поверхности: Обрезанные, притертые, травленые, полированные, узорчатые Плоскость/выемка: все стандартные плоскости или выемки SEMI Проводимость: P или N тип

---

ВИДЕО

Каталоги

PROFORMA 300iSA
PROFORMA 300iSA
4 Страницы
* Цены указаны без учета налогов, без стоимости доставки, без учета таможенных пошлин и не включают в себя дополнительные расходы, связанные с установкой или вводом в эксплуатацию. Цены являются ориентировочными и могут меняться в зависимости от страны, цен на сырьевые товары и валютных курсов.