Фильтры Mott GasShield® для поверхностного монтажа обеспечивают высочайшие возможности фильтрации 0,0015 мкм в интегрированных газовых системах, используемых в полупроводниковых OEM-инструментах. Фильтры GasShield® для поверхностного монтажа предназначены для установки в газораспределительные системы 1,125" и 1,5" с четырьмя крепежными элементами для поверхностного монтажа и имеют как C-, так и W-образные уплотнения. Они совместимы с широким спектром инертных газов, а также с большинством специальных газов.
---