Диффузор для газов GasShield®

Газовые диффузоры Mott Gasshield обеспечивают равномерный и ламинарный поток газа, сводя к минимуму возмущение частиц. Они эффективно удаляют частицы размером более 0,0015 мкм, повышая качество пластин, и обеспечивают долговечность более 6 000 000 циклов, что делает их надежным выбором для производства полупроводников. Типичные применения Камерные диффузоры используются для вентиляции в следующих областях применения: " камеры грузового шлюза " перегрузочные камеры " охлаждающие камеры, и "технологические камеры интерфейсы полупроводникового оборудования (CVD, PVD, Etch, Epi) или другие вакуумные камеры Условия эксплуатации - " Максимальное рабочее давление: 60 фунтов на кв. дюйм (4,2 барг) " Максимальная рабочая температура для инертного газа 860°F (460°C) без уплотнительного кольца 212°F (100°C) с уплотнительным кольцом " Максимальное дифференциальное давление: 75 psid (5,0 бар) Материалы - " Фурнитура: 316L SS или сплав 22* " Фильтрующая среда: 316L SS волокно или сплав 22* " Отделка поверхности смачиваемого оборудования: 10 Ra *Сплав 22 или UNS NO6022 - это никель-хром-молибденовый суперсплав, обычно называемый Hastelloy® C-22® Технические характеристики - Размер удаляемых частиц - ≥ 0,0015 мкм Осыпание частиц: - Нулевой вклад частиц выше фона (<1 частица/фут³) согласно методу испытания SEMI F43-0308