Решение для Burn-In на уровне пластины для силовых МОП
Основные моменты:
WLBI для силовых технологий - Si, SiC, GaN
Совместимость с 6-, 8- и 12-дюймовыми пластинами
Возможность полного прожига пластин
Экономически эффективное решение для тестирования надежности и жизненного цикла
Использует стандартную технологию обработки пластин
Ключевые особенности:
Параллельность: от 160 до 1600 участков
Напряжение: до 1,2 кВ на участок
Ток: 2 мА на участок
Тестовая установка:
Функциональный тест
HTGB
HTRB
---