Интерферометр для измерения расстояний interferoMETER 5400-DS

оптическийкомпактныйс белым светом

Обзор
interferoMETER IMS5400-DS — это белолучевой интерферометр для абсолютных измерений расстояния и перемещения в промышленных условиях. Система обеспечивает абсолютные измерения с нанометровой разрешающей способностью, сравнительно большой базовый отступ и поддерживает мультипиковую оценку для прозрачных и многослойных структур.

Ключевые особенности

• Абсолютные измерения расстояния с нанометровой точностью, пригодны для контроля ступенчатых профилей
• Мультипиковая дистанционная измерительная функция для прозрачных объектов (до 14 одновременных значений расстояния в моделях MP)
• Компактные, прочные датчики; доступны варианты с 90° траекторией луча
• Высокая частота измерений до 6 кГц для высокоскоростных процессов
• Надежный контроллер с пассивным охлаждением и возможностью монтажа на DIN-рейку
• Простая конфигурация через веб-интерфейс (без установки ПО)
• Оптоволоконные кабели до 10 м для разделения датчика и контроллера
• Гибкая промышленная интеграция с множеством интерфейсов и входов/выходов

Принцип работы / Характеристики
IMS5400-DS выполняет абсолютные измерения расстояния с нанометровой разрешающей способностью и поддерживает мультипиковую оценку для обнаружения нескольких отражающих интерфейсов в прозрачных или многослойных образцах. Высокая частота оцифровки (до 6 кГц) и небольшой диаметр пятна (~10 µm) обеспечивают стабильные измерения профилей и тонких деталей, включая движущиеся объекты. Контроллер обеспечивает стабильную работу за счет пассивного охлаждения и активной компенсации температуры; ввод в эксплуатацию и параметризация выполняются через веб-интерфейс.

Технические спецификации

• Принцип измерения: белолучевая интерферометрия (абсолютное измерение расстояния)
• Разрешение/точность: наносекционный уровень абсолютных измерений; типичная линейность ±50 нм (зависит от модели)
• Мультипиковая способность: до 13–14 одновременных значений расстояния (зависит от модели)
• Частота измерений: до 6 кГц
• Диаметр пятна: типично ≈10 µm
• Базовый отступ: сравнительно большой при компактной конструкции датчика; доступны 90° варианты
• Контроллер: металлический корпус, пассивное охлаждение, монтаж на DIN-рейку; интеллектуальные функции обработки
• Конфигурация: веб-интерфейс (клиентское ПО не требуется)
• Интерфейсы: Ethernet, EtherCAT, RS422, аналоговые выходы, синхро вход, цифровые I/O, вход энкодера; PROFINET/EtherNet/IP через опционные модули
• Разделение датчик-контроллер: оптоволоконные кабели до 10 м
• Типичные области применения: высокоточные измерения расстояния/перемещения, контроль ступенчатых профилей, измерение толщины стекла, интеграция в производственные линии и применение в чистых / вакуумных помещениях (доступны версии VAC/UHV)