Интерферометр для измерения толщины interferoMETER IMS5420-TH

с белым светом

Интерферометр белого света IMS5420-TH открывает новые перспективы в промышленном измерении толщины монокристаллических кремниевых пластин. Благодаря широкополосному суперлюминесцентному диоду (SLED), IMS5420-TH может использоваться для измерения толщины недопированных, легированных и высоколегированных пластин СИ. Диапазон измерения толщины составляет от 0,05 до 1,05 мм. Измеряемая толщина воздушных зазоров достигает 4 мм. В производстве полупроводников необходима высокая точность. Важным этапом технологического процесса является притирка заготовок, которые таким образом доводятся до равномерной толщины. Для непрерывного контроля толщины были разработаны интерферометры белого света серии IMS5420. Каждый из них состоит из компактного датчика и контроллера, помещенных в прочный корпус промышленного класса. Встроенный в контроллер активный температурный контроль обеспечивает высокую стабильность измерений. Интерферометры выпускаются в виде системы измерения толщины или многопиковой системы измерения толщины. Многопиковая система измерения толщины может измерять толщину до пяти слоев, например, толщину пластин, воздушного зазора, пленок и покрытий >50 мкм. Для измерения толщины в сложных условиях окружающей среды предлагается контроллер IMS5420IP67 со степенью защиты IP67 и корпусом из нержавеющей стали, а также соответствующие оптоволоконные датчики и сенсоры.