Разработанная специально для микропроцессорных систем, система PRIMES MicroSpotMonitor-Compact (MSM-C) расширяет семейство систем анализа фокуса на основе камер, представляя собой компактную и модульную измерительную систему.
Оптимизирована для микропроцессорных заводов
MicroSpotMonitor-Compact (MSM-C) была оптимизирована специально для ограниченного пространства для установки в микропроцессорных системах. Размеры корпуса камеры с электроникой, ослабителем и поглотителем энергии составляют около 230 x 120 x 60 миллиметров (Д x Ш x В). Компактное устройство не имеет собственных осей перемещения.
Лазерный луч увеличивается с помощью измерительной оптики, ослабляется через два светоделителя и через отклоняющее зеркало попадает на CCD-матрицу. При необходимости перед датчиком может быть установлен дополнительный фильтр. Геометрия пучка и распределение плотности мощности измеряются датчиком CCD. Данные измерений передаются через Ethernet на ПК и оцениваются с помощью программного обеспечения PRIMES LaserDiagnoseSoftware. В качестве опции данные могут быть определены внутри прибора и переданы через интерфейс PROFIBUS на контроллер установки.
Измеряется распределение плотности мощности (одной плоскости реза), размеры луча и ориентация луча в плоскости измерения. В зависимости от выбранного локального разрешения, повторные измерения могут выполняться с частотой повторения до одного герца.
В сочетании с внешней осью z:
- Размеры фокуса
- Положение фокуса в пространстве
- Показатель дифракции M2 (коэффициент распространения пучка k, произведение параметров пучка)
- Длина Рэлея
- Дивергенция дальнего поля
---