применяемый газ: N₂, воздух, H₂, He, Ar, O₂, CO₂ и т.д.
■Диапазон расхода:10SCCM~100SLM
точность:±1~1.5%F.S.
Широкий диапазон расхода от F.S.10SCCM до F.S.100SLM путем преобразования N₂.
Простое управление с дисплеем.
・・Мгновенная и суммарная индикация расхода.
・・Установка верхнего или нижнего сигнала тревоги.
Связь RS485.
входной/выходной сигнал 0-5 В постоянного тока (переключаемый 4-20 мА).
---