Массовый регулятор расхода 5100

для газаиз нержавеющей сталианалоговый

применяемый газ: N₂, воздух, H₂, He, Ar, O₂, CO₂ и т.д. ■Диапазон расхода：1SCCM～20SLM ■ Точность：±1%F.S. Металлические уплотнения. Контроль минутных потоков возможен от F.S.1SCCM путем преобразования N₂. Уменьшенный мертвый объем благодаря седловому клапану мембраны. Области применения ・Отбор проб воздуха ・・Компонент анализатора ・・Биореактор ・・Биотехнологический процесс ・・Контроль горения ・・Производство ККФЛ ・Контроль давления в камере ・・Химический процесс ・・Мониторинг окружающей среды ・・Производство электронных устройств ・・Производство продуктов питания ・・Тестирование топливных элементов ・・Ферментационный процесс ・・Смешивание газа ・・Распределение газа ・・Мониторинг газового потока ・・Генерация газа ・・Промышленная печь ・・ Тестирование на герметичность ・・Фармацевтический процесс ・・Мониторинг загрязнения ・・Управление технологическим потоком ・・ НИОКР ・・Производство элементов солнечной энергии ・・Вторичный калибровочный эталон ・・Полупроводниковый процесс ・・Процесс обработки поверхности ・・Термическое распыление пламени ・・Производство тонких пленок ・・Осаждение из паровой фазы