Измерительная система для измерения температуры WetTemp series

для полупроводниковых пластин

Система измерения температуры пластин (от 15° до 140°C) при мокрой обработке на месте Система измерения температуры пластин WetTemp in situ, доступная в конфигурациях 300 мм и 200 мм, поддерживает мониторинг процессов влажной очистки и других процессов влажной обработки. Мониторные пластины серии WetTemp совместимы с большинством однопластинчатых технологических систем мокрой очистки, что помогает инженерам квалифицировать инструменты для мокрой очистки, оптимизировать процессы мокрой очистки и повысить производительность систем мокрой очистки. Области применения Разработка процессов, квалификация процессов, мониторинг технологического оборудования, квалификация технологического оборудования, согласование технологического оборудования Сопутствующие продукты WetTemp-HR Мониторинг температуры пластины с 65 встроенными температурными датчиками, равномерно распределенными в девяти концентрических кольцах для обеспечения улучшенного покрытия поверхности пластины для получения богатых пространственных данных о температуре по всей пластине. Совместим с мокрыми процессами для одной пластины с толщиной пластины 1,2 мм. WetTemp-LP Мониторинг температуры пластины с помощью 65 встроенных температурных датчиков, распределенных в пяти концентрических кольцах со смещенной плотностью в области 147 мм. Совместим с мокрыми процессами для одной пластины толщиной 0,775 мм. WetTemp Контроль температуры вафель с помощью 65 встроенных температурных датчиков, распределенных в пяти концентрических кольцах со смещенной плотностью в области 147 мм. Совместим с мокрыми процессами с одной пластиной толщиной 1,2 мм.