Измерительная система для измерения температуры HighTemp-400

для полупроводниковых пластин

Система измерения температуры подложки для осаждения пленок in situ Система измерения температуры пластин HighTemp-400 in situ предназначена для оптимизации и мониторинга современных процессов осаждения пленок (FEOL и BEOL ALD, CVD и PVD) и других процессов с повышенной температурой. Беспроводная система HighTemp-400 измеряет тепловую однородность технологического инструмента, предоставляя временные и пространственные температурные данные, собранные в реальных условиях производственного процесса. Выявляя температурные колебания, которые могут влиять на технологические окна и производительность шаблонов, HighTemp-400 помогает производителям ИС в интеграции новых материалов, транзисторных технологий и сложных методов шаблонирования. Области применения Разработка технологических процессов, квалификация технологических процессов, мониторинг технологических инструментов, квалификация технологических инструментов, подбор технологических инструментов Осаждение тонких пленок | 20-400°C