Оптический прибор для контроля Candela® 8xxx series

для поверхностидефектовавтоматизированный

Candela 8420 - это система контроля поверхностных дефектов, использующая многоканальное обнаружение и основанное на правилах бинирование дефектов для обнаружения частиц и царапин на непрозрачных, полупрозрачных и прозрачных пластинах, таких как арсенид галлия (GaAs), фосфид индия (InP), танталат лития, ниобат лития, стекло, сапфир и другие сложные полупроводниковые материалы. В системе контроля поверхностных дефектов 8420 используется запатентованная архитектура OSA (оптический анализатор поверхности) для одновременного измерения интенсивности рассеяния, топографических изменений, отражательной способности поверхности и фазового сдвига для автоматического обнаружения и классификации широкого спектра дефектов, представляющих интерес (DOI). Полное покрытие поверхности достигается за считанные минуты, при этом система контроля дефектов поверхности Candela 8420 позволяет получать изображения высокого разрешения и автоматизированные отчеты о проверке с классификацией дефектов и картами пластин. Описание продукта Система контроля пластин Candela 8420 обеспечивает анализ поверхности, включая обнаружение поверхностных дефектов и частиц на непрозрачных, полупрозрачных и прозрачных пластинах, включая стекло, сапфир с односторонней полировкой (SSP), сапфир с двухсторонней полировкой (DSP); скользящие линии; ямки и бугорки арсенида галлия (GaAs) и фосфида индия (InP); картирование однородности поверхности, напоминающей дымку; а также дефекты танталата лития (LiTaO2), ниобата лития (LiNbO3) и других современных материалов. Система контроля поверхности 8420 используется для контроля процесса производства сложных полупроводников (очистка пластин, пред- и постэпитаксия) с использованием контроля дефектов. Его усовершенствованная многоканальная конструкция обеспечивает повышенную чувствительность по сравнению с одноканальными технологиями.