Робот серии TTS может получить доступ к 2 и 3 FOUP EFEM без гусениц. Специально разработанная система привода позволяет роботу двигаться невероятно плавно и с высокой точностью. Кроме того, его жесткий телескопический механизм обеспечивает высокоскоростное перемещение в высоких и низких положениях.
Данная серия соответствует стандарту SEMI-F47, а также стандарту SEMI-S2.
Области применения
Обработка кремниевых пластин
---