Робот серии NTS может получить доступ к 2 и 3 FOUP EFEM без гусениц. Специально разработанная система привода позволяет роботу двигаться невероятно плавно и с высокой точностью.
Роботы этой серии соответствуют стандарту SEMI-F47, а также стандарту SEMI-S2.
Области применения
Обработка кремниевых пластин
---