Нагревательный элемент для диффузионной печи

пластинкаиз керамикидля диффузионной печи

Диффузионные кассеты Fibrothal®, доступные в легком и тяжелом исполнении, проектируются и ориентируются горизонтально или вертикально в зависимости от их предназначения. Выбор между горизонтальными и вертикальными печами зависит от различных факторов, включая специфику используемых процессов производства полупроводников и цели предприятия по производству. На выбор могут повлиять такие факторы, как размер пластин, технологические требования и общий производственный процесс. На практике в производстве полупроводников используются как горизонтальные, так и вертикальные печи, и выбор зависит от конкретных потребностей и ограничений производственного процесса. Каждая ориентация имеет свой собственный набор применений, и производители могут использовать комбинацию обоих типов печей на своих производственных предприятиях. Горизонтальные кассеты Кассеты обычно предназначены для пластин размером = 200 мм. Оборудование в значительной степени автоматизировано в производственных цехах заказчиков. Как правило, в вертикальных кассетах имеется от четырех до семи зон контроля.