Нагревательный элемент для диффузионной печи

из силиконаиз керамикииз полиимида

Кассеты легкого калибра состоят из проволоки легкого калибра, сформированной в синусоидальные узоры или пружинные катушки. Легкий калибр означает использование проволоки меньшего диаметра в конструкции кассет. Такая конфигурация имеет решающее значение для точного контроля и времени отклика процесса диффузии. Области применения LPCVD и низкотемпературные применения: Используется, когда требуется точный контроль над низкими температурами. Такие области применения, как LPCVD; поликремний, нитрид и низкотемпературный оксид. Атмосфера; отжиг H2, полимеризация полиимида. Области применения с быстрым температурным откликом: Идеально подходит для процессов, требующих быстрого изменения температуры. Быстрое охлаждение: Эффективны в приложениях, требующих быстрого охлаждения. Типичный низкомассовый нагреватель состоит из: Керамические формы с полукорпусом и встроенными проволочными или пружинными катушками. Керамическая форма, покрытая сухим волокном для обеспечения необходимой изоляции и сбалансированного сжатия. Инструментальные керамические изоляторы с вакуумной формовкой. Разновидности позиционных зажимов для термопар. Керамические фиксаторы выводов на элементах с внутренними шинами. Силовые блоки для элементов с внешними шинами. Проволока среднего и легкого калибра синуированная или пружинная холодная намотка на прецизионных станках. типовые схемы синусоидального изгиба 25 мм и 50 мм. Внешние корпуса из SST или алюминия. Низкомассовая конструкция для низких температур и более быстрого теплового отклика. Белое или черное покрытие поверхности.