Лазерная система литографии JBX-9500FS

JBX-9500FS — это электронно-лучевая система 100 кВ, которая обеспечивает высочайшую в мире пропускную способность и точность позиционирования среди систем точечной литографии. Эта система EB может вмещать до 300 мм Φ пластины и до 6-дюймовой маски, таким образом, отвечая на исследования и разработки и производство в различных областях, таких как наноимпринт, фотонные устройства и устройства связи. Особенности В дополнение к максимальной скорости сканирования 100 МГц, JBX-9500FS обеспечивает точность наложения ±11 нм, точность сшивки полей ±10 нм и точность позиционирования в пределах поля ±9 нм при размере поля 1000 мкм × 1000 мкм. Таким образом, JBX-9500FS представляет собой электронно-лучевую систему на 100 кВ, которая обеспечивает высочайшую в мире пропускную способность и точность позиционирования среди систем точечной литографии. Поскольку JBX-9500FS использует ЦАП позиционирования луча 20 бит и ЦАП сканирования 14 бит, шаг сканирования с более высоким разрешением 0.25 нм достигается для записи данных с шагом 1 нм, таким образом, воспроизводя более точные записываемые данные. Его высокая скорость сканирования до 100 МГц позволяет JBX-9500FS поддерживать короткие шаги сканирования при записи с большим током, тем самым увеличивая пропускную способность, даже когда требуется высокоточная запись шаблона. Лучшая в мире точность позиционирования достигается за счет LBC (управление лазерным лучом), который обеспечивает высокое разрешение и минимальный шаг позиционирования луча 0.15 нм (λ/4096).