Система электронно-лучевой литографии точечного типа JBX-8100FS отличается высокой производительностью, малой занимаемой площадью и экономией электроэнергии.
Особенности
Малая занимаемая площадь
Площадь, необходимая для стандартной системы, составляет 4,9 м (Ш) x 3,7 м (Г) x 2,6 м (В), что намного меньше, чем у обычных систем.
Низкое энергопотребление
Мощность, необходимая для нормальной работы, составляет около 3 кВА, что на 1/3 меньше, чем у обычных систем.
Высокая пропускная способность
Система имеет два режима экспонирования, с высоким разрешением и высокой пропускной способностью, поддерживая различные типы шаблонирования от сверхтонкой обработки до производства малых и средних размеров. В системе минимизировано время простоя во время экспонирования, а максимальная скорость сканирования увеличена в 1,25-2,5 раза до 125 МГц (самый высокий уровень в мире) для высокоскоростной записи.
Версия
JBX-8100FS доступен в 2 версиях: G1 (начальная модель) и G2 (модель с полным набором опций). К модели G1 при необходимости можно добавить дополнительные аксессуары.
Новые функции
Опционально доступен оптический микроскоп, позволяющий исследовать узоры на образце без воздействия света на сопротивление. В стандартную комплектацию входит сигнальная башня для визуального контроля работы системы.
Разрешение лазерного позиционирования
В стандартной комплектации измерение и управление позиционированием осуществляется с шагом 0,6 нм, а в дополнительной комплектации - с шагом 0,15 нм.
Управление системой
Универсальная операционная система Linux® в сочетании с новым графическим интерфейсом пользователя обеспечивает простоту управления. Программа подготовки данных поддерживает как Linux®, так и Windows®.
---