Система литографии с электронным пучком JBX-8100FS

лазерная

Система электронно-лучевой литографии точечного типа JBX-8100FS обеспечивает высокую производительность, компактность и экономию электроэнергии. Особенности Маленький след Площадь, необходимая для стандартной системы, составляет 4.9 м (Ш) x 3.7 м (Г) x 2.6 м (В), что намного меньше, чем у обычных систем. Низкое энергопотребление Мощность, необходимая для нормальной работы, составляет примерно 3 кВА, что составляет 1/3 мощности обычных систем. Высокая пропускная способность Система имеет два режима экспонирования, режимы высокого разрешения и высокой пропускной способности, поддерживающие различные типы моделирования от сверхточной обработки до производства малых и средних размеров. Это свело к минимуму время простоя во время экспозиции, увеличив максимальную скорость сканирования в 1.25-2.5 раза до 125 МГц (самый высокий мировой уровень) для высокоскоростной записи. Версия JBX-8100FS доступен в 2 версиях: G1 (начальная модель) и G2 (полная модель). При необходимости к модели G1 можно добавить дополнительные аксессуары. Новые функции Дополнительный оптический микроскоп позволяет исследовать узоры на образце, не подвергая резист воздействию света. В стандартную комплектацию входит сигнальная башня для визуального контроля работы системы. Разрешение лазерного позиционирования Положения столика измеряются и контролируются с шагом 0.6 нм в стандартной комплектации и с шагом 0.15 нм при дополнительном обновлении. Контроль системы Универсальная операционная система Linux® в сочетании с новым графическим пользовательским интерфейсом упрощают работу. Программа подготовки данных поддерживает как Linux®, так и Windows®.