Датчик для регулятора толщины пленки кварцевого генератора на 6 или 12 кристаллах.
Особенности
Используется для измерения толщины пленки и скорости образования пленки во время обработки тонких пленок.
Когда кристалл выходит из строя, датчик можно использовать как есть, переключившись на следующий кристалл.
Так как апертура детектора находится в фиксированном положении, нет необходимости изменять инструментальный фактор для каждого сдвига кристалла.
Есть 2 типа сенсорных головок; плоский и 45°. Их можно использовать по выбору в зависимости от монтажной позиции.
Подходит для длительных процессов вакуумного осаждения или напыления больших объемов.