Метрологическая система для полупроводниковой пластины MESO™

для полупроводников

Метрологическое решение MESO Метрологическая система MESO - это универсальное решение многих задач оптической метрологии. Измерения в цехах обеспечивают контроль качества и технологический контроль плоской оптики непосредственно у производственной линии. Уникальный прибор позволяет проводить измерения в нескольких различных диапазонах длин волн без хроматических аббераций и характеризовать весь диапазон оптических характеристик без потери разрешения. MESO™ - это инновационный прибор: - LIFT - высокая разрешающая способность зондирования волнового фронта - POP - заявленная на патент процедура тестирования (тонкой) плоскопараллельной оптики - Запатентованная технология Spot Tracker™ обеспечивает абсолютное измерение наклона и волнового фронта. ОСНОВНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ Нечувствительность к вибрациям Тестирование при проектной длине волны Нечувствительность к отражениям от задней поверхности образца ПРИМЕНЕНИЯ MESO - идеальный инструмент для контроля: Параллельная оптика Экраны Фильтры, дихроики Зеркала Светофильтры Окна Подложки Угловые кубы Кристаллы Стержни, диски Стеклянные пластины Дисплеи Обработанные поверхности Ветровые стекла Призмы Большие линзы Оптические системы Расширители лучей основные характеристики метрологической системы MESO Горизонтальная или вертикальная интеграция Оптическое увеличение от 1,5'' (38,1 мм) до 6'' (152 мм) Длина волны тестирования от 405 нм до 820 нм разрешение 680 x 500 фазовых точек минимальное время захвата 27 с ОСНОВНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ Управление через сенсорный экран Записанные процедуры тестирования сопровождают пользователя на всех этапах Автоматизированный контроль до 4 встроенных длин волн Автоматизированный контроль диаметра теста Полный автоматизированный отчет о тестировании Соответствие стандарту ISO10110 Многоформатный экспорт данных