Массовый регулятор расхода GR-511F

для газа

GR-511F может управлять газами, используемыми для охлаждения обратной стороны пластин, которые фиксируются в нужном положении системой электростатических патронов. Стабильность и точность GR-511F делает его идеальным для управления потоком гелия и аргона в системах охлаждения пластин. ОСОБЕННОСТИ Контроль давления с повышенной стабильностью и точностью Датчик массового расхода (опция) Совместимость с различными фитингами Соответствие RoHS Пример применения В приведенном ниже примере GR-511F контролирует газы, используемые для охлаждения обратной стороны пластин, которые фиксируются в нужном положении системой электростатических патронов. тип клапана - C: нормально закрытый Герметичность - ≤ 7 × 10-11 Па-м3 /с (He) Максимальное рабочее давление - 300 кПа (A) Устойчивость к давлению - 350 кПа (A) Рабочая температура - 5-50 °C (гарантированная погрешность при температуре : 15-40 °C) Питание - +15 В постоянного тока±5 %, 250 мА -15 В постоянного тока±5 %, 250 мА Потребляемая мощность - 7,5 ВА Интерфейс - аналоговый Газ *1 - He, Ar, N2 Стандартные фитинги - 1/4 дюйма VCR или эквивалент Полная шкала давления - 1,333 кПа (A) (10 Торр), 2,666 кПа (A) (20 Торр), 6.666 кПа (A) (50 Торр) Диапазон регулирования давления - 1-100 %F.S. Точность давления *2 - ±0,5 %R.S. Температурный коэффициент нуля - ±0,04 %F.S./°C Температурный коэффициент диапазона - ±0,04 %R.S./°C Отклик *3 - ≤ 1 сек Сигнал установки давления - 0,1-10 В постоянного тока (1-100 %F.S.) Входной импеданс ≥ 1 MΩ Опция: 0,05-5 В постоянного тока (1-100 %F.S.) Входной импеданс ≥ 1 MΩ Выходной сигнал давления - 0-10 В постоянного тока (0-100 %F.S.) Минимальное сопротивление 2 kΩ Опция:0-5 В постоянного тока (0-100 %F.S.) Минимальное сопротивление 2 кΩ