Контроллер давления для газов GR-300

Система охлаждения обратной стороны пластины Устройства серии GR-300 могут управлять газами, используемыми для охлаждения обратной стороны пластин, которые фиксируются в нужном положении системой электростатического патрона. Стабильность и точность GR-300 делает его идеальным для управления потоком гелия и аргона в системах охлаждения пластин. Регулирование давления с повышенной стабильностью и точностью Датчик массового расхода (опция) Совместимость с различными фитингами Соответствие требованиям RoHS В приведенном ниже примере серия GR-300 контролирует газы, используемые для охлаждения обратной стороны пластин, которые фиксируются в нужном положении системой электростатического патрона.