Приборы серии GR-300 могут управлять газами, используемыми для охлаждения обратной стороны пластин, которые фиксируются в нужном положении системой электростатических патронов.
Стабильность и точность GR-300 делает его идеальным для управления потоком гелия и аргона в системах охлаждения пластин.
Контроль давления с повышенной стабильностью и точностью
Датчик массового расхода (опция)
Совместимость с различными фитингами
Соответствие RoHS
В приведенном ниже примере серия GR-300 контролирует газы, используемые для охлаждения обратной стороны пластин, которые фиксируются в нужном положении системой электростатических патронов.
---