Процесс металлоорганического химического осаждения из паровой фазы (MOCVD) широко используется при производстве светодиодов, оптических приборов и других компонентов. Жидкие и твердые прекурсоры подаются в реакционную камеру путем регулирования температуры, давления и скорости потока газа-носителя (метод барботирования). Встраиваемые в линию приборы серии IR-300 измеряют и сообщают о концентрации прекурсоров в режиме реального времени, что дает пользователю следующие преимущества:
Оптимизация управления процессом для производства большего количества высококачественных устройств
Повышение выхода устройств и снижение брака
Улучшение воспроизводимости
Знать, когда барботер требует замены
Продлить MTTA
Сокращение незапланированных вмешательств
Сокращение отходов ценных прекурсоров
Мониторинг в реальном времени
Быстрый отклик и отличная повторяемость позволяют отслеживать изменения концентрации паров в режиме реального времени
Функция мультикалибровочной кривой (опция)
Позволяет измерять концентрацию до 3 химических веществ или диапазонов
Функция мультидисплея
Функция мультидисплея на верхней панели прибора IR-300 позволяет пользователю на месте контролировать концентрацию и состояние линии подачи прекурсоров
Функция связи
Возможность подключения через DeviceNet™, RS485 и аналоговые коммуникации
Простой и компактный дизайн
Компактная конструкция устройства, не требующая крепления, с размером по лицевой стороне 124 мм позволяет легко интегрировать его в систему
Высокая оптическая интенсивность и долговечный источник света в сочетании с высокоскоростной обработкой сигнала позволяют приборам серии IR-300 быстрее и точнее реагировать на изменения концентрации прекурсоров. Эти характеристики позволяют пользователю получить истинное представление о реальном процессе благодаря измерению концентрации в режиме реального времени.
---