Испаритель для газов IR-300 series

термическийдля процессавысокоскоростной

Процесс металлоорганического химического осаждения из паровой фазы (MOCVD) широко используется при производстве светодиодов, оптических приборов и других компонентов. Жидкие и твердые прекурсоры подаются в реакционную камеру путем регулирования температуры, давления и скорости потока газа-носителя (метод барботирования). Встраиваемые в линию приборы серии IR-300 измеряют и сообщают о концентрации прекурсоров в режиме реального времени, что дает пользователю следующие преимущества: Оптимизация управления процессом для производства большего количества высококачественных устройств Повышение выхода устройств и снижение брака Улучшение воспроизводимости Знать, когда барботер требует замены Продлить MTTA Сокращение незапланированных вмешательств Сокращение отходов ценных прекурсоров Мониторинг в реальном времени Быстрый отклик и отличная повторяемость позволяют отслеживать изменения концентрации паров в режиме реального времени Функция мультикалибровочной кривой (опция) Позволяет измерять концентрацию до 3 химических веществ или диапазонов Функция мультидисплея Функция мультидисплея на верхней панели прибора IR-300 позволяет пользователю на месте контролировать концентрацию и состояние линии подачи прекурсоров Функция связи Возможность подключения через DeviceNet™, RS485 и аналоговые коммуникации Простой и компактный дизайн Компактная конструкция устройства, не требующая крепления, с размером по лицевой стороне 124 мм позволяет легко интегрировать его в систему Высокая оптическая интенсивность и долговечный источник света в сочетании с высокоскоростной обработкой сигнала позволяют приборам серии IR-300 быстрее и точнее реагировать на изменения концентрации прекурсоров. Эти характеристики позволяют пользователю получить истинное представление о реальном процессе благодаря измерению концентрации в режиме реального времени.