Высококачественный тип газового монитора для контроля конечной точки очистки камеры
IR-400 обеспечивает мониторинг конечной точки очистки камеры в режиме реального времени во время процесса осаждения. Оптимизируя процесс очистки, IR-400 сокращает время очистки и расход газа. Сокращение использования очищающего газа приводит к уменьшению повреждений камеры и увеличивает срок службы всех компонентов системы.
Мониторинг нескольких газов (поддерживаются SiF4 иCF4) (IR-422)
Высокая чувствительность
Функция нагрева газовой ячейки до 180 град.С
Мультидисплей
Аналоговая/цифровая связь.
Преимущества мониторинга конечных точек в режиме реального времени с помощью IR-400
Сокращение времени на очистку камеры
Сокращение использования очищающих газов
Повторяемость и предсказуемость процесса очистки
Увеличение срока службы компонентов камеры
---