Оборудование для наблюдения за газом IR-400 series

IR-400 обеспечивает мониторинг конечной точки очистки камеры в режиме реального времени во время процесса осаждения. Оптимизируя процесс очистки, IR-400 сокращает время очистки и расход газа. Снижение расхода очищающего газа приводит к уменьшению повреждений камеры и увеличивает срок службы всех компонентов системы. Мониторинг нескольких газов (поддерживаются SiF4 иCF4) (IR-422) Высокая чувствительность Функция нагрева газовой ячейки до 180 град.С Мультидисплей Аналоговая/цифровая связь. Преимущества мониторинга конечных точек в реальном времени с помощью IR-400 Сокращение времени на очистку камеры Сокращение использования очищающих газов Повторяющийся и предсказуемый процесс очистки Увеличение срока службы компонентов камеры Надежность, высокая производительность Недисперсионная инфракрасная абсорбциометрия (NDIR) Метод инфракрасной абсорбциометрии, используемый в приборах серии IR-300, основан на принципе поглощения молекулами газа инфракрасного излучения, испускаемого источником инфракрасного света. Выходной сигнал образца, поглотившего измеряемый газ, сравнивается с эталонным результатом без поглощения, и полученный результат преобразуется в концентрацию газа. Использование метода двойного луча позволяет получать долгосрочные и стабильные результаты измерений. Оптическая система состоит из источника света, газовой ячейки и двухлучевых детекторов. Стабильность работы двухлучевого детектора подтверждена более чем 40 годами.