Высокоточная система контроля поверхности подложки и диска, оснащенная сложной функцией классификации дефектов с помощью лазерного облучения нескольких деарингов и недавно разработанного метода дефектов под наклоном.
- Обнаружение мельчайших дефектов с высокой чувствительностью с помощью метода дефектов.
- Контроль на одном шпинделе с использованием нескольких оптических систем.
- Метод рефлектометра и скаттерометра.
---