Сфокусированный ионный пучок NX9000

В этой уникальной системе колонки Ga-FIB и FE-SEM расположены под прямым углом друг к другу. Такая конфигурация идеально подходит для приложений, где необходимо анализировать большие объемы (биологические ткани, материалы с крупнозернистой структурой, полупроводниковые компоненты и т. д.) в 3D без искажений и с высочайшим разрешением, даже при очень широких полях зрения. 3D EBSD-анализ также может проводиться с полностью неподвижным образцом, т.е. без перемещения образца между FIB-резкой и EBSD-анализом слоев.