Массовый спектрометр XBS

четырехполюсныйбыстрыйдля сбора данных

Система для мониторинга нескольких источников в приложениях MBE осаждения Источники молекулярного пучка требуют точного контроля для воспроизводимого роста тонких пленок производственного качества. Система XBS (cross beam source) компании Hiden обеспечивает мониторинг нескольких источников in situ с выводом сигнала в режиме реального времени для точного контроля осаждения. Система XBS компании Hiden является отличным инструментом, используемым в масс-спектрометрии молекулярного пучка. Мониторинг и контроль MBE Исследования молекулярного пучка Анализ источников нескольких пучков Высокопроизводительный RGA Десорбция Исследования газовыделения Циклы выжигания Загрязнения технологического газа Система Hiden XBS RC представляет собой квадрупольный масс-спектрометр, предназначенный для одновременного мониторинга нескольких источников пучка, и уникальным образом обеспечивает прием пучка через конус 70°, поперечный к оси квадруполя. Диафрагмы приема пучка настраиваются индивидуально для каждого конкретного положения источника в технологической камере и изготавливаются в виде сменных вставных элементов для возможности ретроспективной модификации в случае изменения камеры. Высокая чувствительность и быстрый сбор данных системы XBS обеспечивают сигналы для контроля скорости роста от 0,01 ангстрема в секунду. Высокая чувствительность, улучшенное обнаружение от 100% до 5ppb, диапазон масс до 510 amu Улучшенная долговременная стабильность (менее ±0,5% изменения высоты в течение 24 ч) Источник ионов с поперечным пучком, прием пучка под углом +/- 35° к поперечной оси Управление источником ионов для мягкой ионизации и масс-спектрометрии с потенциалом появления Повышенная чувствительность для высокой передачи массы, автоматическое выравнивание шкалы масс Приемная апертура пучка 2 мм - настраивается под конкретное приложение пользователя Повышенная устойчивость к загрязнениям с помощью ступени предварительного фильтра только для радиочастот