Являясь чистой логистической системой для полупроводников, она представляет собой систему автоматического подъема и хранения, которая перемещает вафли FOUP&FOSB на каждый этаж.
Спецификация
Ход подъема: Макс 60 м
Скорость подъема: 360 м/мин
Время загрузки вил: в течение 3 секунд
Акк/Дек: 2м/сек²
Вибрация: Не более RMS 0.8G
---