Вертикальная автоматическая система хранения для кассетыдля пластинс постоянным контролем температуры и влажности
Добавить в папку «Избранное»
Добавить к сравнению
Характеристики
- Тип
- вертикальное
- Применение
- для кассеты, для пластин
- Другие характеристики
- с постоянным контролем температуры и влажности
Описание
Эта система автоматического хранения предназначена для системы чистой логистики полупроводников, которая хранит и сортирует вафли FOUP, FOSB, POD и кассеты. Она может быть реализована в различных формах, таких как камерный тип, стоечный тип и другие, которые соответствуют требуемым спецификациям различных полупроводниковых процессов.
Спецификация
Чистота окружающей среды: Класс1 ~ Класс1000
Скорость: 1,5 м/сек
Acc/Dec: 2.5m/sec²
Вибрация: Не более среднеквадратичной 0,5 G
Продувка: Постоянная продувка PN2
Контроль окружающей среды: влажность, температура, давление, концентрация кислорода
---
Каталоги
Для этого товара не доступен ни один каталог.
Посмотреть все каталоги HANWHA MACHINERY
* Цены указаны без учета налогов, без стоимости доставки, без учета таможенных пошлин и не включают в себя дополнительные расходы, связанные с установкой или вводом в эксплуатацию. Цены являются ориентировочными и могут меняться в зависимости от страны, цен на сырьевые товары и валютных курсов.