Гравировально-маркировочная машина лазер HDZ-WAF600

для полупроводниковой пластиныс трассируемостьювысокой точности

Общая информация

• Полностью автоматическая лазерная маркировочная машина для ваферов, предназначенная для идентификации и отслеживания на уровне вафера.
• Варианты лазера: UV или зелёный лазер с тонкой фокусировкой для бесконтактной маркировки.
• Полностью автоматическая подача/выгрузка, автоматический поиск кромки и автоматическая сигнализация о неисправностях.
• Управление от компьютера (платформа Windows) с английским интерфейсом и собственным программным обеспечением для управления процессом.
• Водяное охлаждение; повторяемая позиционная точность при окончательной обработке ±0,05 мм; точная маркировка до уровня die.

Применение
Применимо для ваферов 6, 8 и 12 дюймов для идентификации полупроводников, отслеживания, кодирования и процессной маркировки.

Эффекты маркировки

• Маркировка на уровне вафера
• Маркировка символов точечной матрицы

Технические данные
Модель | HDZ-WAF600
Тип лазера (опционально) | UV / зелёный
Типичная мощность лазера | UV 7W; зелёный 10W (настраивается)
Режим охлаждения | Водяное охлаждение
Повторяемая точность позиционирования при обработке | ±0,05 мм
Обрабатываемые изделия | Ваферы 6, 8, 12 дюймов
Электропитание | 220V, 50Hz
Габаритные размеры (ориентировочно) | 1950 mm × 1650 mm × 1635 mm


Особенности / технические характеристики

• Модель: HDZ-WAF600
• Автоматизация: Полностью автоматическая подача/выгрузка; автоматический поиск кромки; автоматическая сигнализация о неисправностях
• Управление и ПО: Компьютерное управление, платформа Windows, английский интерфейс, собственное ПО
• Маркировка: Бесконтактная, точная маркировка на уровне die; подходит для маркировки ваферов и точечной матрицы
• Точность позиционирования: ±0,05 мм (повторяемая при окончательной обработке)
• Охлаждение: Водяное охлаждение
• Поддерживаемые размеры ваферов: 6", 8", 12"
• Электропитание: 220V, 50Hz