Машина для нанесения покрытий PECVD

тонких слоев кремниядля фотогальванического оборудования

На поверхность кремниевой пластины наносится слой антиотражающей пленки нитрида кремния (SixNy) толщиной около 75-140 нм Слой антиотражающей пленки нитрида кремния (SixNy) толщиной около 75-140 нм осаждается на поверхность кремниевой пластины, а поверхность и внутренняя часть кремниевой пластины пассивируются с помощью активных ионов H+, образующихся в процессе осаждения. Уменьшая отражение света, он также улучшает время жизни минорных носителей в кремниевых пластинах, что в конечном итоге непосредственно отражается на эффективности преобразования кристаллических кремниевых элементов, в основном используемых при выращивании пленок нитрида кремния на передней и задней стенках PERC/TOPCon элементов. Основные параметры Зрелый высокопроизводительный процесс, двухрежимная технология контроля температуры, технология защиты калибра пленки; Запатентованный механизм push-pull, поддерживаемый на обоих концах, позволяет устранить дрожание, увеличить скорость на 30%, повысить грузоподъемность и значительно повысить надежность. Время входа и выхода из лодки составляет не более 20 секунд (без учета сбора и размещения лодки); Быстрое охлаждение корпуса печи: новейшая запатентованная технология позволяет быстро снизить температуру корпуса печи до необходимой температуры, скорость охлаждения увеличивается более чем на 25%, что позволяет улучшить равномерность температуры в трубе печи; Запатентованный метод параллельной теплоотдачи в месте хранения лодки: улучшает эффект охлаждения, сокращает время охлаждения более чем на 15%, а также позволяет избежать попадания воздуха снизу с передней части консоли для улучшения внутренней чистоты консоли; Технология быстрого адаптивного управления по замкнутому контуру давления;