Печь диффузии

с камеройдля отжигадля окисления

В настоящее время диффузия под низким давлением считается эффективным способом повышения эффективности преобразования солнечных элементов. Диффузия при низком давлении в настоящее время считается эффективным способом эффективного повышения эффективности преобразования солнечных элементов. Диффузия при низком давлении/рассеянный окислительный отжиг улучшает молекулярный свободный путь источника диффузии и решает проблемы глубины и равномерности диффузии; по сравнению с диффузией при атмосферном давлении, она имеет ряд существенных преимуществ, таких как высокая производительность, высокая квадратичная устойчивость, повторяемость процесса, низкое потребление источника, чистота и экологичность и т.д. Данное оборудование в основном используется для процесса диффузионного легирования и окислительного отжига кремниевых пластин при производстве кристаллических кремниевых солнечных элементов. Основные характеристики Зрелый высокопроизводительный процесс, система загрузки и выгрузки: сбалансированный и симметричный дизайн для повышения стабильности; Быстрое охлаждение корпуса печи: Новейшая запатентованная технология позволяет быстро снизить температуру корпуса печи до требуемой температуры, скорость охлаждения увеличивается более чем на 25%, что может улучшить равномерность температуры в трубе печи, очевидно; Выхлопные газы собираются высокоэффективным конденсатором с водяным охлаждением, что обеспечивает стабильную и надежную работу труб, клапанов, фильтров и мембранных насосов, а также длительные периоды технического обслуживания; Стабильная конструкция трубопровода источника помех для уменьшения колебаний квадратичного сопротивления, вызванных воздействием факторов окружающей среды; Система MES/CCRM с полной архитектурой и выдающейся производительностью.