Машина для нанесения покрытий PECVD FALO

тонких слоевдля фотогальванического оборудования

Он подходит для выращивания плотного глинозема и других материалов обратной пассивирующей пленки в процессе производства высокоэффективной кристаллической кремниевой батареи perc. Непрерывное переключение между различными пленками; Поддержка механизма толкания лодки на обоих концах для устранения дрожания, повышения скорости, увеличения нагрузки и значительного повышения надежности (патент). Время входа и выхода из лодки не должно превышать 20 секунд (не считая взятия и отпускания лодки); Механизм двойной топочной дверцы специальной формы для снижения теплопотерь (запатентованная конструкция двойной топочной дверцы); Технология графитовых электродов: контакт поверхности электродов, передние и задние электроды дополнены, а хвостовой электрод регулируется вне печной трубы; Быстрое охлаждение корпуса печи: используется новейшая запатентованная технология, благодаря которой температура корпуса печи может быть быстро снижена до необходимой температуры, а скорость охлаждения может быть увеличена более чем на 25%, что значительно улучшает равномерность температуры в печной трубе; Запатентованный режим параллельной теплоотдачи в месте хранения лодки: улучшает эффект охлаждения, сокращает время охлаждения более чем на 15%, избегает дна и впуска воздуха с передней части консоли, чтобы улучшить внутреннюю чистоту консоли; Кварцевая трубка вспомогательный подъемный инструмент, который значительно снижает сложность установки, обслуживания и замены кварцевой трубки; Компактность пленки выше, чем у непрямой плазмы; Он имеет лучший эффект пассивации, чем ALD.