Машина для нанесения покрытий PVD HD500

Обзор продукта
HD500 построен на платформе композитной технологии напыления, объединяющей высокоионизированное магнетронное распыление (HiPIMS) и многодуговое ионное напыление в одном технологическом цикле. Система формирует универсальные тонкие пленки для трудноосаждаемых материалов, таких как нержавеющая сталь и титановые сплавы, способствуя продлению срока службы изделий. Подходит для мелкосерийного производства и научно-исследовательских работ по процессам.

Ключевые преимущества

• Боковое травление с горячей нитевой ионной источником: обеспечивает равномерное боковое травление, контролируемые нависания и упрощенное обслуживание.
• Композитное HiPIMS магнитронное распыление: DC + HiPIMS магнитроны дают высокие скорости осаждения и обеспечивают требуемую ионную энергию для тугоплавких элементов (Nb, B, C, W, V) и широкого круга материалов.
• Плазменно-оптимизированный мульти-дуговой источник: 3 группы по 6 круговых мишеней с скрытым зажиганием дуги для надежной работы и легкого обслуживания; обеспечивает осаждение многокомпонентных и многослойных пленок с гладкой поверхностью и высокой утилизацией мишеней.
• Несколько платформ осаждения в одном корпусе: DC MS + HiPIMS MS + мульти-дуговое ионное напыление позволяют выполнять индивидуальные, композитные и смешанные процессы покрытия в одной партии.

Параметры продукта
Наименование: HD500
Технология покрытия: Композитная технология покрытия (высокоионизированное распыление + дуговой композит)
Травление: Боковой ионный источник (горячая нить)
Мульти-дуговые источники (кол-во): 6
Магнетронные катоды (кол-во): 1
Габариты оборудования (mm): 3400 × 1600 × 2600
Объем камеры (m³): 0.7
Эффективная площадь покрытия (mm): Φ410 × 400
Макс. рабочая температура (°C): 700
Вместимость загрузки (кол-во стоек): 5
Загрузка пластин (APMT1135): 6000 pcs
Загрузка пластин на штанге (D4*50L): 1800 pcs
Макс. масса загрузки (kg): 300
Диаметр вала: Φ130
Время процесса (AlTiN): 6-8 h

Технические характеристики

• Модель / Серия: HD500 (серия HD)
• Технология покрытия: Композитное высокоионизированное распыление + дуга
• Метод травления: Боковой ионный источник (горячая нить)
• Мульти-дуговые источники: 6 (3 группы по 6 круговых мишеней)
• Магнетронные катоды: 1
• Габариты оборудования: 3400 mm × 1600 mm × 2600 mm
• Объем камеры: 0.7 m³
• Эффективная площадь покрытия: Φ410 × 400 mm
• Макс. рабочая температура: 700 °C
• Вместимость загрузки: 5 стоек
• Загрузка пластин (APMT1135): 6000 pcs
• Вместимость пластин на штанге (D4*50L): 1800 pcs
• Макс. масса загрузки: 300 kg
• Диаметр вала: Φ130
• Типичное время процесса (AlTiN): 6-8 h