Система фотолитографии UV-NIL UV/EVG®620 NT

Известный своей универсальностью и надежностью, EVG620 NT обеспечивает современную технологию выравнивания маски на минимальной площади. Удобное для оператора программное обеспечение, минимальное время на замену масок и инструментов, а также эффективная сервисная поддержка по всему миру делают их идеальным решением для любой научно-исследовательской среды, вплоть до полуавтоматического серийного производства. Инструмент поддерживает различные стандартные литографические процессы, такие как вакуумный, мягкий, жесткий и бесконтактный режимы экспонирования, возможность выравнивания с обратной стороны. Кроме того, система предлагает дополнительные возможности для многоцелевых конфигураций, включая выравнивание связок и наноимпринтерную литографию. Кроме того, запатентованная технология SmartNIL EVG поддерживает как полуавтоматические, так и полностью автоматизированные конфигурации системы. SmartNIL является ведущей в отрасли технологией NIL, позволяющей структурировать очень маленькие детали размером до 40 нм*, а также широкий спектр размеров и форм. SmartNIL в сочетании с многофункциональной технологией soft-stamp обеспечивает непревзойденную пропускную способность со значительными преимуществами по стоимости владения при сохранении масштабируемости и удобства эксплуатации. SmartNIL EVG оправдывает долгосрочные перспективы нанопечати как недорогостоящей и крупномасштабной альтернативной литографической технологии для массового производства микро- и наноструктур. *разрешение в зависимости от процесса и шаблона