Координатный стол XY EZ-0715

механизированный2 осисверхточный

Портальный столик EZ-0715 предназначен для решения высокоточных задач. Инкрементальные измерительные системы (Heidenhain LIP6 G0) и оптимизированная конструкция позволяют достичь точности позиционирования ±250 нм и повторяемости ±25 нм по отдельным осям. Предварительно нагруженные вакуумом ползуны и оптимизированное распределение масс обеспечивают высокую жесткость при минимальном монтажном пространстве. Безжелезные двигатели обеспечивают ускорение до 10 м/с2 и скорость перемещения до 1 м/с. Конечное положение определяется индуктивными датчиками. Подвод энергии к направляющим осуществляется отдельно через симметрично расположенные тяговые цепи. Станина станка Gantry Stage выполнена из гранита. Обе оси могут быть выполнены по индивидуальному заказу. Система XY может быть дополнена осями Z и/или C.