Трубчатая печь TubeStar

для отжигадля пиролизаэлектрическая

Печная платформа TubeStar представляет собой компактную трубчатую печь периодического действия. Эта платформа предназначена для диффузии, окисления и осаждения и была разработана для удовлетворения потребностей технологического процесса. Серия TubeStar является модульной и гибкой. Она может состоять от 1 до 4 независимых труб с производительностью 50 пластин на трубу. ПРЕИМУЩЕСТВА И ДОСТОИНСТВА Платформа печей TubeStar отлично подходит для обработки небольшого количества пластин, но благодаря своей гибкости также хорошо справляется с обработкой больших партий. Они доказали свою эффективность при квалификации изменений в технологическом процессе, например, на линиях по производству фотоэлектрических элементов. Одной из ключевых характеристик этой трубчатой печи является точность термообработки в сочетании с высокой степенью гибкости настройки. Это обеспечивает широкий спектр применения. ВОЗМОЖНЫЕ ПРИМЕНЕНИЯ Диффузия LPCVD Окисление