Печь с камерой JETFIRST

термическаявакуумнаякомпактная

Система ECM JetFirst RTP - это компактная и надежная ламповая печь, предназначенная для быстрого термического отжига (RTA) широкого спектра подложек и структур материалов (электронный Si, стальное стекло, SoG c-Si, III-V, II-VI, германий, кварц, керамика и т.д.) размером от 100 мм до 300 мм в диаметре. Эта ламповая печь оснащена металлической водоохлаждаемой реакторной камерой и поэтому обладает сверхнизким эффектом памяти. ПРЕИМУЩЕСТВА И ДОСТОИНСТВА Система JetFirst - это ламповая печь, разработанная с учетом требований университетов и исследовательских лабораторий. Система контроля измерения температуры обеспечивает точный и воспроизводимый тепловой контроль во всем диапазоне температур. Ламповая панель, верхний диапазон и кварцевое окно установлены на вращающейся верхней крышке, обеспечивающей полный доступ к камере для легкой загрузки и выгрузки пластин. Для обработки различных небольших образцов и сложных полуматериалов предлагаются графитовые суспензоры с покрытием из карбида кремния. По запросу может быть предоставлена запасная технологическая камера, чтобы избежать перекрестного загрязнения, если в одном реакторе необходимо провести несколько процессов. Высокая надежность и высокие эксплуатационные характеристики JetFirst позволяют осуществлять мелкосерийное производство. Процесс может проходить при атмосферном давлении или в вакууме. ПИД-регулятор обеспечивает точное и повторяемое тепловое регулирование в диапазоне температур. Управление процессом RTP осуществляется с помощью компьютера, на котором установлен специальный супервизор PIMS, позволяющий программировать рецепты и контролировать всю систему RTP.