Абсолютный линейный энкодер для вакуумных систем
Для линейных осей с высокими скоростями перемещения
Доступна версия с очень малым шагом измерения (<1 нм)
Интерфейсы: EnDat, Fanuc, Mitsubishi, Panasonic и Yaskawa
Вакуумостойкие печатные платы, клеи и покрытия для снижения газовыделения
Вентилируемые полости для более быстрого откачивания
Термостабильность при высоких температурах обжига
Неферромагнитные материалы для высокой надёжности процессов
Обжиг перед упаковкой для обеспечения высокой чистоты
Для применения в условиях высокого вакуума
Вакуумная техника играет ключевую роль во многих современных научно-исследовательских и производственных процессах, включая производство электроники, тонкопленочную технологию, исследования материалов, биотехнологии, медицинскую технику и высокотехнологичное лабораторное оборудование.
Высокие скорости перемещения
Исключительная точность и высокие скорости перемещения являются отличительными чертами линейных энкодеров LIC. Возможны скорости до 600 м/мин при шаге измерения всего 1 нм. Обладая высокой устойчивостью к загрязнениям, эти энкодеры обеспечивают высоконадежную обратную связь по положению.
---