Недиспергирующий инфракрасный датчик газа Gasboard-2061

для измерения процессовдля полупроводникового монитора очистки газовцифровой

Обзор продукта
Gasboard-2061 — NDIR-датчик для измерения WF6, предназначенный для обнаружения конца очистки (endpoint) в камерах осаждения CVD из вольфрама (WCVD) в реальном времени. Обеспечивает чувствительное и стабильное измерение концентрации WF6 в условиях процесса, что позволяет своевременно фиксировать конец очистки, сокращать время очистки, уменьшать расход газов и снижать износ камеры.

Gasboard-2061 выполнен в компактной модульной конструкции для упрощённой установки. Поддерживает аналоговые и цифровые интерфейсы, допускает калибровку и настройки для удобной интеграции в системы управления процессом.

Особенности

• NDIR-измерение, оптимизированное для контроля WF6.
• Быстрое время отклика для отслеживания изменений концентрации в реальном времени.
• Низкий нулевой дрейф и высокая воспроизводимость для стабильных измерений.
• Герметичная конструкция, подходящая для работы в вакууме.
• Корпус из 316L для стойкости в коррозийных средах процесса.
• Аналоговые и цифровые входы/выходы для интеграции и обслуживания.

Технические характеристики
Измеряемый компонент: WF6
Диапазон: 0–200 mTorr
Воспроизводимость: ±0,5 %
Точность: ±1 % F.S.
Питание: 24 VDC
Рабочий ток: 1,5 A (макс.)
Аналоговый выход: 0–5 VDC (4 канала) или 4–20 mA (4 канала)
Аналоговый вход: 0–10 VDC (1 канал)
Цифровой выход: 4 канала; Цифровой вход: 1 канал
Связь: RS485
Порт отбора пробы: NW25
Утечка: ≤1 × 10⁻⁶ Pa·m³/s (He)
Рабочая температура окружающей среды: 20–35 ℃

Примечания

• Все данные измерены при стандартном атмосферном давлении.
• Калибровочные газы поставляются организациями, аккредитованными национальными метрологическими службами; газы разводятся в сухом азоте с чистотой 99,999 %.
• Приведённые характеристики действительны после калибровки; каждый датчик проходит 100% калибровку на производстве.
• Измерения проводятся при 25 ℃, если не указано иное.

Технические данные

• Измеряемый компонент: WF6
• Диапазон: 0–200 mTorr
• Воспроизводимость: ±0,5 %
• Точность: ±1 % F.S.
• Питание: 24 VDC
• Рабочий ток: 1,5 A (макс.)
• Аналоговый выход: 0–5 VDC (4 канала) или 4–20 mA (4 канала)
• Аналоговый вход: 0–10 VDC (1 канал)
• Цифровой выход: 4 канала; Цифровый вход: 1 канал
• Связь: RS485
• Порт отбора пробы: NW25
• Утечка: ≤1 × 10⁻⁶ Pa·m³/s (He)
• Рабочая температура окружающей среды: 20–35 ℃