Оптическая система контроля Phoenix Ultima

лазернаясканирующая3D

Phoenix Ultima, система АОИ последнего поколения компании CIMS, предназначена для поддержки крупносерийного производства подложек ИС. Она способна выполнять сканирование по технологии с шириной линии/пространства до 4 мкм. Современная оптическая технология Prisma™ разработана для обеспечения гибкого светового покрытия с максимальным контрастом, чтобы поддерживать получение изображений высокого разрешения при высокой скорости сканирования. Оптимизированная производительность достигается за счет сочетания четкого изображения высокого разрешения с настраиваемыми алгоритмами обнаружения. Оснащенные современным оборудованием для получения изображений и передовым программным обеспечением, продукты семейства Phoenix известны своей исключительной эффективностью обнаружения при минимальном количестве ложных срабатываний. Phoenix Ultima работает на базе Spark™ - инновационного кроссплатформенного механизма обнаружения. Основные характеристики -Линейные двигатели для плавного и бесшумного движения -Надежная механическая конструкция -Автоматизированный вакуумный стол -Высокопроизводительная микропрограмма обработки изображений -Компьютер нового поколения для обработки больших данных -Быстрая и интуитивно понятная настройка для новых рабочих мест -Совместимость с передней/задней автоматикой AMHS или роботом Опции -Fi - возможность окончательного контроля готовых плат -+2DM метрология - измерение размеров панелей -+2CD метрология - 2D измерение элементов схемы -+3DH метрология - 3D измерения высоты элементов схемы -+3DP метрология - 3D профилирование элементов схемы -LDI - возможность контроля лазерным сверлом -CDB/CDBIC - классификация дефектов и виртуальное отображение дефектов -VVS - система виртуальной верификации