Машина для нанесения покрытий методом катодного распыления для металлизации FLC

для использования в автомобилях

Обзор
LEYBOLD OPTICS FLC series — это семейство роль‑в‑роль высоковакуумных систем магнетронного напыления, предназначенных для НИОКР и серийного производства. Модульная конструкция позволяет установить до шести вращающихся мишеней и выполнять многослойное нанесение металлов и диэлектриков за один проход; доступны ширины покрытия 650 мм, 1600 мм и 2000 мм.

Ключевые преимущества

• Многослойное нанесение за один проход благодаря опциональной газовой сепарации между секциями процесса, что позволяет получить комбинированные металло‑диэлектрические стеки без промежуточных этапов.
• Гибкая конфигурация: до шести вращающихся катодов, различные варианты источников питания, системы in-situ контроля, плазменная предподготовка и настраиваемые системы перемотки для разных подложек и процессов.
• Быстрая переналадка между задачами за счёт замены мишеней и рецептур без существенных конструктивных изменений, подходит для НИОКР и опытного производства.

Основные особенности

• Универсальность: поддержка DC, DC однополюсного импульса, DC биполярного импульса и среднечастотных (MF) источников питания для реактивных и нерeактивных процессов.
• Контроль частиц и стабильность процесса: направление распыления «sputter-up», турбомолекулярные насосы, холодные ловушки и температурно‑контролируемый напылительный барабан (стандарт –15…+80 °C).
• Обслуживание: конструкция обеспечивает простой доступ к ключевым узлам для очистки и техобслуживания.

Подложки и материалы

• Подложки: PET, PEN, PI, алюминий, нержавеющая сталь, медь, гибкое стекло; максимальный диаметр рулона до 500 мм.
• Материалы напыления: металлы (Ag, Al, Cu, Cr, NiCr, Ti) и диэлектрики/оксиды (AZO, ITO, SiO2, SiN, SnO2, Nb2O5, TiO2).

Области применения

• Прозрачные проводящие покрытия ITO для дисплеев и сенсорных панелей.
• Гибкие печатные платы (FPCB) и металлизация пленок для роликовых конденсаторов.
• Low‑E и smart‑glass покрытия, электрохромные пленки для архитектурного и автомобильного остекления.
• Функциональные покрытия для повышения производительности литий‑ионных аккумуляторов и других продвинутых электронных материалов.

Другие характеристики / Технические спецификации

• Семейство моделей: LEYBOLD OPTICS FLC series
• Размеры / ширины покрытия: 650 мм, 1600 мм, 2000 мм
• Типичная ширина покрытия (пример FLC 650): до 650 мм
• Макс. диаметр рулона подложки: до 500 мм
• Диапазон температуры напылительного барабана: стандарт –15 °C до +80 °C
• Катоды: до 6 вращающихся катодов; ориентация sputter-up
• Поддерживаемые источники питания: DC, DC однополюсный импульс, DC биполярный импульс, MF
• Вакуумное оборудование: турбомолекулярные насосы и холодные ловушки
• Опции процесса: газовая сепарация между секциями, плазменная предподготовка, системы измерения слоёв in-situ, система управления процессом с обратной связью, конфигурируемая система намотки