Машина для нанесения покрытий методом катодного распыления с магнетроном DEIMOS 5500

для зеркала

Обзор
DEIMOS 5500 — вакуумная установка для прецизионной оптики на основе магнетронного напыления, разработанная для нанесения защитных и усиленных слоёв алюминия или серебра на большие изогнутые астрономические зеркала с учётом требований по отражающей способности, однородности и долговечности покрытий.

Ключевые преимущества

• Высокая однородность покрытия — электрически регулируемый наклон мишеней и адаптация расстояния к изогнутым подложкам обеспечивают равномерное нанесение защитных или усиленных слоёв Al/Ag.
• Быстрое обслуживание подложек — рельсовая система позволяет выдвинуть нижнюю половину камеры для полного доступа и оперативной замены подложек.
• Гибкие режимы питания — четыре мишени с возможностью питания импульсным или постоянным током для соответствия технологическим требованиям.

Основные характеристики

• Перемещаемая наклоняемая катодная система — каждая мишень может перемещаться и наклоняться; электроприводы обеспечивают воспроизводимое позиционирование, настройки сохраняются в производственных рецептах.
• Предварительная очистка MF или DC тлеющим разрядом — встроенные блоки разряда обеспечивают контролируемую очистку камеры и удаление влаги; циклы очистки сохраняемы в рецептах.
• Доступный конструктив — нижняя половина камеры на рельсах упрощает доступ к мишеням, подложкам и компонентам процесса, особенно при больших диаметрах (до 4,5 м), облегчая эксплуатацию и обслуживание.

Применение
Предназначена для нанесения покрытий на астрономические и другие крупногабаритные прецизионные оптические зеркала с использованием защитных или усиленных слоёв алюминия или серебра, где критичны отражающая способность, однородность и долговечность покрытия.

Характеристики / технические спецификации

• Коммерческое наименование: DEIMOS 5500
• Тип процесса: магнетронное напыление / вакуумная тонкоплёночная технология для прецизионной оптики
• Материалы покрытия: алюминий (Al) и серебро (Ag) — защитные и усиленные слои
• Количество мишеней: 4
• Режимы питания: импульсный (pulsed) или постоянный ток (DC)
• Регулировка мишеней: электрическая регулировка наклона и расстояния; позиции сохраняемы в рецептах
• Предварительная очистка: MF или DC тлеющий разряд для удаления влаги и очистки камеры; циклы сохраняемы
• Обработка подложек: нижняя половина камеры на рельсах для полного доступа и быстрой замены
• Поддерживаемый диаметр подложки (макс.): до 4,5 м
• Область применения: астрономические и прецизионные оптические зеркала с требованиями к отражающей способности, однородности и долговечности
• Эксплуатация и обслуживание: упрощённый доступ к мишеням, подложкам и компонентам для обслуживания и обеспечения повторяемости процессов через рецепты