Антибликовый вакуумный испаритель SYRUSpro series

рефлектор

Обзор
Серия SYRUSpro от Bühler Leybold Optics — установка вакуумного напыления для прецизионной оптики, разработанная для непрерывного (24/7) массового производства оптических фильтров в диапазонах DUV, VIS и IR. Серия обеспечивает настраиваемые решения для высоких требований к покрытиям и высокого производственного потока.

Ключевые преимущества

• Разработана для сложных задач: соответствует строгим требованиям для IR, DUV и экстремальных диапазонов длин волн.
• Адаптируется к процессу: широкий выбор качественных ключевых компонентов позволяет конфигурировать систему под точные требования процесса.
• Максимальная гибкость: доступно восемь размеров камер для соответствия загрузочной ёмкости и размерам подложек.

Основные характеристики

• Варианты камер: восемь размеров камер с внутренними диаметрами от 710 мм до 2800 мм для точного соответствия требованиям загрузки и размера подложек.
• Выбор покрытий: поддерживает краевые фильтры (short/long pass), UV/IR cut-фильтры, notch и узкополосные фильтры, дихроичные цветные фильтры, поляризационные разделители луча, AR и HR покрытия для лазеров и другие специализированные оптические покрытия.
• Гибкость компонентов: широкая гамма фирменных компонентов: in-situ оптический мониторинг, плазменные источники, разнообразные электронно-лучевые и термические испарители, кварцевые кристаллы для измерения (QCM) и системы держателей подложек.

Дополнительные функции

• Автоматизация: продвинутая система управления процессом с высокой гибкостью программирования и уровнем автоматизации для эффективного непрерывного производства.
• Оптимизация для DUV: специальные обработки поверхностей камеры, отбор материалов и индивидуальные конфигурации компонентов для низкопотерьных покрытий при фотолитографии 193 нм.
• IR-применения: адаптация для большого расхода IR-материалов и обеспечение отличной производительности слоев и равномерности на плоских и сильно изогнутых подложках.
• Варианты конфигурации: Bühler Leybold Optics оказывает поддержку в подборе точных конфигураций для достижения требуемого качества, эффективности и надёжности.

Загрузки

• Brochure for Precision optics (PDF)
• Технические данные: Syruspro series (PDF)

Технические характеристики

• Серия / модель: SYRUSpro
• Область применения: массовое производство оптических фильтров 24/7
• Спектральные диапазоны: DUV, VIS, IR
• Размеры камер: 8 вариантов; внутренние диаметры 710 мм — 2800 мм
• Поддерживаемые покрытия: краевые фильтры, UV/IR cut, notch, узкополосные фильтры, дихроичные цветные фильтры, поляризационные разделители, AR/HR для лазеров и др.
• Конфигурируемые компоненты: in-situ оптический мониторинг, плазменные источники, электронно-лучевые и термические испарители, QCM, системы держателей подложек
• Управление и автоматизация: гибкая система управления процессом с продвинутой автоматизацией для эффективности производства
• Оптимизация DUV: обработанные поверхности камер и отобранные материалы для низкопотерьных покрытий 193 нм
• Возможности для IR: конфигурации для высокого расхода IR-материалов и равномерных покрытий на плоских и изогнутых подложках