Полировальный станок для металлов POLI-762

прецизионныйс поворотным столоммеханический

POLI-762 - небольшой 12-дюймовый химико-механический полировальный станок, который использует ручной метод загрузки, может быть оснащен полуавтоматическим загрузочным поддоном, использует мембранную подушку безопасности для гибкого увеличения давления, может быть оснащен системой контроля силы трения и температуры, используется для планаризационной полировки оксидов, металлов, STI, SOI, MEMS и других продуктов. Области применения широки. Полный набор функций Обратное давление мембраны на пластину, полировальная пластина имеет встроенную систему охлаждения. Функция контроля конечной точки обнаружения трения и температуры, а также система нагнетания давления в различных областях являются опциональными. Простое управление Система управления ПК, сенсорный экран, полуавтоматическая загрузка поддона, опционально, автоматическая полировка CMP одной кнопкой. Хорошая совместимость 3 независимых трубопровода подачи шлама, легко заменяемая полировальная плита, сменные 4, 6, 8 и 12 дюймовые полировальные головки, совместимые с пластинами различных размеров и типов. Небольшая площадь Минимизация площади чистого помещения.